高溫四探針測試儀

*高溫度  1650°c

測量范圍 0.1mΩ-100MΩ

溫度精度  ±0.25°c

*快測量 6.4ms

更多功能 高溫四探針、退火

高溫I-V特性測試

高溫真空測量

高溫氣氛測量

高溫燒結/退火

高溫四探針測量

消除電網(wǎng)諧波對采集精度的影響

高溫四探針測試儀采用直排四探針法設計原理測量。主要用于評估半導體薄膜和薄片的導電性能，參考美國 A.S.T.M 標準設計。重復性與穩(wěn)定性更好，采用雙屏蔽高頻測試線纜，提高測試參數(shù)的**度，同時抗干擾能力更強。本設備也可應用于產(chǎn)品檢測以及新材料電學性能研究等用途。

      搭配Labview系統(tǒng)開發(fā)的Huacepro軟件，具備彈性的自定義功能，可進行介電溫譜、頻譜、升溫速度、測量參數(shù)等設置，符合功能材料測試多樣化的需求。電壓、過電流、超溫等異常情況以保證測試過程的**；資料保存機制，當遇到電腦異常瞬時斷電可將資料保存于控制器中，不丟失試驗數(shù)據(jù)，設備重新啟動后可恢復原有試驗數(shù)據(jù)。

      源測量儀器的精密耦合特點相對分立儀器具有許多優(yōu)點。例如，它具有更短的測試時間，通過減少GPIB的流量并簡化了遠程編程接口。它還保護被測設備在偶爾過載、熱失控等情況下不被損壞。電流源和電壓源都可設置回讀使器件測量完整性*大化。如果回讀達到可編程容限的極限，那么該源就被鉗位在此極限，從而提供錯誤保護。

消除電網(wǎng)諧波對采集精度的影響

華測系列阻抗分析儀是華測儀器電子事業(yè)部采用當前***自動平衡電橋原理研制成功的新一代阻抗測試儀器，為國產(chǎn)阻抗測試儀器的*新高度。也徹底超越了國外同類儀器，在測量10Hz-50MHz的頻率瓶頸；解決了國外同類儀器只能分析、*********；采用單測和分析兩種界面，讓測試更簡單。得益于***自動平衡電橋技術，在10Hz-50MHz的頻率范圍可以保證0.05%的基本精度。 快達5ms的測試速度及高達50M的阻抗測試范圍可以滿足元件與材料的測量要求，特別有利于低損耗(D)電容器和高品質(zhì)因數(shù)(Q)電感器的測量。四端對的端口配置方式可有效消除測試線電磁耦合的影響，將低阻抗測試能力的下限比常規(guī)端配置的儀器向下擴展了十倍。

消除不規(guī)則輸入的自動平均值功能  更強數(shù)據(jù)處理及內(nèi)部屏蔽

華測近紅外高溫爐配合吉時利數(shù)字源表進行四探針電阻測量，讓測試更加穩(wěn)定可靠，吉時利數(shù)字源表系列專用于要求緊密結合源和測量 的測試應用。全部數(shù)字源表型號都提供精密電壓源和電 流源以及測量功能。每款數(shù)字源表既是高度穩(wěn)定的直流 電源也是真儀器級的6位半萬用表。此電源的特性包括 低噪聲、精密和回讀。此萬用表的功能包括可重復性高和低噪聲。*終形成了緊湊、單通道、直流參數(shù)測試儀。 在工作時，這些儀器能用作電壓源、電流源、電壓表、電流表和歐姆表。源和阱（4象限）工作，0.012%基礎測量精度（6位半分辨率）。 2線、4線電壓源和測量感測1700讀數(shù)/秒（4位半分辨率），通過GPIB通過/失效比較器用于快速提供高速感測線接觸檢查功能，在半導體、功能材料行業(yè)吉時利數(shù)字源表是適于特性析和生產(chǎn)測試等廣泛應用的重要源表。

專用高頻測試線纜，更適合高頻測量

測試引線使用4端子對配置以擴展測量端口，附帶BNC陽頭連接板，用于連接高溫爐的測試夾具，同時測試線采用高頻測試專用測試線，設計兩層屏蔽。更適合高頻介電參數(shù)測量。

儀器優(yōu)勢：

1、它可以勻速、階梯（升\降溫）、循環(huán)沖擊，真空、氣氛等多種的加熱方式。

2、采用***移相觸發(fā)技術，完全可實現(xiàn)控制精度波動±0.25°c 以內(nèi)，溫控精度更高。

3、加熱速度更快、更快，同時它可以提供了材料的更多的測試環(huán)境。

更加優(yōu)異的加溫方式

目前國內(nèi)高溫加熱大都為管式爐或馬弗爐，主要原理為加熱絲或硅碳棒對爐體加熱，加熱與降溫過程速度慢，效率低下。也無法實現(xiàn)溫度的高精度測量，加熱區(qū)域也存在不均勻的現(xiàn)象，華測儀器通過多年研究開發(fā)了一種可實現(xiàn)高精度，高反射率的拋物面與高質(zhì)量的加熱源相配置，在高速加熱及高速冷卻時，具有良好的溫度分布。 可實現(xiàn)寬域均熱區(qū)，高速加熱、高速冷卻 ，用石英管保護加熱試樣，無氣氛污染。可在高真空，高純度氣體中加熱 。設備可組成均熱高速加熱爐，溫度斜率爐，階段加熱爐。

   它提高了加熱試驗能力。 同電阻爐和其他爐相比，紅外線反射爐節(jié)省了升溫時間和保持時間及自然冷卻到室溫所需時間，再試驗中也可改寫設定溫度值。從各方面講，都節(jié)省試驗時間并提高實驗速度。

同高頻爐相比，不需特殊的安裝條件及對加熱試樣的要求。同電阻爐一樣安裝簡單，有冷卻系統(tǒng)**可靠。以提高試驗人員的工作效率，實現(xiàn)***溫度控制操作！

高能量的紅外燈和鍍金反射方式允許高速加熱到高溫。同時爐體可配置水冷系統(tǒng)，增設氣體冷卻裝置，可實現(xiàn)快速冷卻。

1、高速加熱與冷卻方式

高能量的紅外燈和鍍金反射方式允許高速加熱到高溫。同時爐體可配置水冷系統(tǒng)，增設氣體冷卻裝置，可實現(xiàn)快速冷卻。

2、溫度高精度控制

近紅外鍍金聚焦爐和溫度控制器的組合使用，可以**控制樣品的溫度(遠比普通加溫方式)。此外，冷卻速度和保持在任何溫度下可提供高精度。

3、不同環(huán)境下的加熱與冷卻

加熱/冷卻可用真空、氣氛環(huán)境、低溫（高純度惰性氣體 靜態(tài)或流動），操作簡單，使用石英玻璃制成。紅外線可傳送到加熱/冷卻室。

更強的擴展能力，實現(xiàn)一機多用

█  多功能真空加熱 爐，可實現(xiàn)高溫、真空、氣氛環(huán)境下電學測試

█  采用鉑金材料作為測量導線、以減少信號衰減、提高測試精度

█  設備配置水冷裝置，降溫速度更快、效率更高

█  可實現(xiàn)高溫下四探針電阻譜等測量功能

█  進口溫度傳感器、PID自動溫度控制，使測量溫度更精準

█  近紅外加熱，樣品受熱更均勻，不存在感應電流，達到精準測量

█  10寸進口觸摸屏設計，一體化設計機械結構，更加穩(wěn)定、可靠

█  采用進口高頻測試線，抗干擾能力更強，采集精度更高

█  99氧化鋁陶瓷絕緣，配和鉑金電極夾具

█  huace pro 強大的控制分析軟件與功能測試平臺系統(tǒng)相互兼容

設備測量參數(shù)

溫度范圍： RT-800 (*高1650)°C 控溫精度：±0.25°C     

升溫斜率：10°C/min（可設定）   測試范圍 :  0.1mΩ-100MΩ     

加熱方式：近紅外加熱     

冷卻方式：水冷     

輸入電壓：110~220V    

樣品尺寸：φ＜25mm，d＜4mm   電極材料：碳化鎢針

 夾具輔助材料：99氧化鋁陶瓷   測量方式：直接四探針

  測試功能：I-V、R-T等     

 數(shù)據(jù)傳輸：4個USB接口

 設備尺寸：600x500x350mm

動態(tài)測量范圍：電流：10pA to 10A

      電壓：1μV to 200V

四象限工作

0.012%的**度，5?的分辨率

可程控電流驅(qū)動和電壓測量鉗位的 6位線電阻測量   在4?數(shù)位時通過GPIB達1700讀數(shù)/秒

可選式接觸檢查功能

更強大的操作軟件

測試系統(tǒng)的軟件平臺 Huacepro ，采用labview系統(tǒng)開發(fā)，符合功能材料的各項測試需求，具備強大的穩(wěn)定性與操作**性，并具備斷電資料的保存功能，圖像資料也可保存恢復。支持新的國際標準，兼容XP、win7、win10系統(tǒng)。

█ 多語介面：支持中文/英文 兩種語言界面；

█ 即時監(jiān)控：系統(tǒng)測試狀態(tài)即時瀏覽，無須等待；

█ 圖例管理：通過軟件中的狀態(tài)圖示，一目了然，立即對狀態(tài)說明，了解測試狀態(tài)；

█ 使用權限：可設定使用者的權限，方便管理；

█ 故障狀態(tài)：軟件具有設備的故障報警功能。

█ 試驗報告：自定義報表格式，一鍵打印試驗報告，可導出EXCEL、PDF格式報表

軟件兼容：Keysight（ 2400、2450、2600、2650）等儀表。

強大的硬件配置

█ 集成Intel@Celeron 1037U 1.8GHZ雙核處理器

█ 集成打機印接口，*大可擴充8個USB接口

█ *大支持16G內(nèi)存，60G固態(tài)硬盤，讓系統(tǒng)運行更加流暢